用于表面缺陷检测的AOI系统不能在检测过程中，给被测件表面带来缺陷（如粉尘、划伤、静电等）。因此，对于大型零件（如高世代的液晶玻璃基板、硅片等）的在线检测，常常需要采取气浮支撑、定位与传输机构，运动部件（如轴承等）采用自润滑器件，以及利用FFU风机过滤机组对检测系统进行环境净化，并采取消静电装置，对工件进行防静电处理。
仪器检测过程：通过机械手将待检的玻璃基板平放至仪器的上料平台，触发上料信号进行上料动作，上料动作完成。由气缸及电磁阀对玻璃基板进行夹持固定，并由主轴电机拖动其匀速经过 CCD 阵列扫描成像，等待图形处理结果，若有缺陷则由主轴电机拖动其运动到指1定位置完成复检，若待测基板存在多个缺陷，则需进行多次复检，复检完成将玻璃基板拖动至下料区，夹持固定放开，进行下料过程。若玻璃基板无缺陷则由主轴电机直接拖动其运动到下料区，夹持固定放开，完成下料。
AOI设备属于中小型精密机械，掌握操作方法和技巧不仅能够发挥AOI设备的作用，还能对设备的寿命起到关键作用。因此操作工如何操作是一个科学的，谨慎的问题。这里，将从自有品牌AOI设备的操作上来介绍，如何操作为有利。
AOI设备操作工的工作主要有两项，一，设备运作;二，设备保养。这两项虽然看似工作内容不同，却是相互关联的。运作不注意要领将影响设备养护，养护不到位，也将导致设备运作出现问题。两者的工作相互依赖不可分。
以上信息由专业从事自动光学检测设备定制的亿昇光电于2025/3/28 12:32:12发布
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