在反射模式将白色的纸放置在光具(底片)之下,介于光具透明和不透明范围之间,以提高其对比度。经过交替的变换达到或接近所使用的标准的AOI系统。这种方法不是通用的的,更多的倾向是由于微小的划伤,才会出现假的缺陷报告。另外:容易产生错误的是由于光具表面银粒子无光泽,再通过AOI的反射模式,特别是焦点不是在光具银乳胶膜上,就很容易出现假的读出。而表面无光泽的粒子致使真空度下降。这些粒子是甲1基丙1烯酸树脂,直径大约7微米,它能够使光发出散光。
自动光学检测用于检查导体电路图形(蚀刻后)的质量:
将抗蚀膜层退除后,检查导体铜电路图形zui广泛的是使用AOI.在这方面的应用是非常普遍的,要获得图像的清晰度的提高,完全决定于过滤器的适当选择,使铜导体表面呈现出不同的变换。zui多的情况,AOI系统检查蚀刻后的导线宽度,这就很容易涉及到多层板内层的导体表面形态和导线边壁的形态的类似的显现,这种形态决定于蚀刻的工艺或微蚀刻的工艺特性。特别是经过电镀的导体线路的经过蚀刻后形态。
仪器检测过程:通过机械手将待检的玻璃基板平放至仪器的上料平台,触发上料信号进行上料动作,上料动作完成。由气缸及电磁阀对玻璃基板进行夹持固定,并由主轴电机拖动其匀速经过 CCD 阵列扫描成像,等待图形处理结果,若有缺陷则由主轴电机拖动其运动到指1定位置完成复检,若待测基板存在多个缺陷,则需进行多次复检,复检完成将玻璃基板拖动至下料区,夹持固定放开,进行下料过程。若玻璃基板无缺陷则由主轴电机直接拖动其运动到下料区,夹持固定放开,完成下料。
以上信息由专业从事全自动光学检测系统设备的亿昇光电于2024/6/28 6:40:13发布
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