随着技术的发展,PVD技术也不断推陈出新,出现了很多针对某几种用途的专门技术
真空蒸发镀膜技术
真空蒸发(Vacuum Evaporation) 镀膜是在真空条件下,用蒸发器加热蒸发物质,使之升华,蒸发粒子流直接射向基片,并在基片上沉积形成固态薄膜,或加热蒸发镀膜材料的真空镀膜方法。其物理过程为:采用几种能源方式转换成热能,加热镀料使之蒸发或升华,成为具有一定能量(0.1~0.3eV) 的气态粒子(原子、分子或原子团);离开镀料表面,具有相当运动速度的气态粒子以基本上无碰撞的直线飞行输运到基体表面;到达基体表面的气态粒子凝聚形核生长成固相薄膜;组成薄膜的原子重组排列或产生化学键合。
PVD 是物理气相淀积,指通过物理手段(电、磁、重力),令气体中的特定成分淀积在晶圆表面,形成薄膜。磁控溅射是PVD 的一种,属于比较老的薄膜生长技术之一,优点是成本较低,可以生长的薄膜种类多,缺点是薄膜一致性较差,台阶覆盖不好,强度较低。
CVD 是化学气相淀积,指令气体在晶圆表面发生化学反应,反应产物附着在晶圆表面形成薄膜。另外氧气(以及水蒸气)与晶圆本身反应生长氧化硅层一般单独分类为氧化,不属于CVD。优点是薄膜一致性好,缺点是受到反应气体种类限制,不是所有的薄膜都能生长。
其他的薄膜生长工艺还有氧化、电镀、外延、键合等。各有各的适用范围。
如果在该镀层上再镀一层。0.2-0.25m金,二是镀层上再进行镀覆。例如铜合金特别是仿金镀层容易变色。则因金在空气中不易变色,能使电镀产品在较长时间里不变色。这种工艺在日本、中国香港等地普遍使用。
包含涂覆涂料和其他薄层保护膜,三是镀层上进行涂覆。较为典型的银镀层的防变色处理,如用电泳涂装法进行保护,这是现在在乐器职业中常用的方法,银镀层也用溶剂保护层,能使银镀层外表生成一层固态膜,使其对腐蚀介质起到屏蔽效果,防止变色。
以上信息由专业从事铝合金电镀表面处理的瑞泓科技于2024/4/23 7:13:18发布
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